真空

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发文分析

主要发文机构

东北大学
发文主题：真空；真空泵；真空系统；真空技术；溅射

发文量：419
合肥工业大学
发文主题：真空；溅射；磁控；真空泵；磁控溅射

发文量：160
沈阳真空技术研究所
发文主题：真空；真空泵；溅射；镀膜；磁控

发文量：141
中国科学院
发文主题：真空；真空系统；BEPC；超高真空；增材制造

发文量：121
东北师范大学
发文主题：真空技术；真空；真空系统；真空泵；真空阀

发文量：120
大连理工大学
发文主题：等离子体；改性；离子镀；科技成果转化；材料改性

发文量：84
中国核工业集团公司
发文主题：等离子体；磁控；电源；溅射；磁控溅射

发文量：73
北京卫星环境工程研究所
发文主题：检漏；航天；航天器；漏率；氦质谱

发文量：63
中国科学院等离子体物理研究所
发文主题：真空；EAST；中性束；真空系统；托卡马克

发文量：57
中国科学技术大学
发文主题：真空；真空系统；加速器；超高真空；光源

发文量：50

主要发文主题

真空
发文学者：张以忱；徐成海；张志军；戴永年；巴德纯

发文量：790
真空技术
发文学者：张以忱；张志军；徐成海；王德喜；谢元华

发文量：364
溅射
发文学者：张以忱；王德苗；邓金祥；巴德纯；闻立时

发文量：324
磁控
发文学者：张以忱；巴德纯；邓金祥；闻立时；王德苗

发文量：305
真空泵
发文学者：张以忱；张世伟；巴德纯；杨乃恒；徐成海

发文量：301
磁控溅射
发文学者：张以忱；巴德纯；邓金祥；王德苗；闻立时

发文量：290
真空系统
发文学者：张以忱；王继常；巴德纯；董海义；杨晓天

发文量：200
镀膜
发文学者：张以忱；徐成海；关奎之；查良镇；赵来

发文量：160
检漏
发文学者：孙立臣；闫荣鑫；孙立志；张海峰；关奎之

发文量：132
真空设备
发文学者：梁志华；于溥；裴宁；张延坤；张晶宇

发文量：128

一级发文领域

一般工业技术
被引量：4661

发文量：2802
理学
被引量：1069

发文量：581
电子电信
被引量：676

发文量：350
金属学及工艺
被引量：687

发文量：341
冶金工程
被引量：463

发文量：214
文化科学
被引量：2

发文量：198
机械工程
被引量：263

发文量：190
化学工程
被引量：394

发文量：179
自动化与计算机技术
被引量：241

发文量：167
经济管理
被引量：25

发文量：130

二级发文领域

一般工业技术 / 真空技术
被引量：2654

发文量：1612
理学 / 物理
被引量：944

发文量：508
理学 / 固体物理
被引量：709

发文量：354
电子电信 / 物理电子学
被引量：607

发文量：307
一般工业技术 / 材料科学与工程
被引量：664

发文量：287
金属学及工艺 / 金属学
被引量：559

发文量：265
冶金工程 / 冶金物理化学
被引量：262

发文量：135
金属学及工艺 / 金属表面处理
被引量：288

发文量：123
核科学技术 / 核技术及应用
被引量：125

发文量：105
自动化与计算机技术 / 控制科学与工程
被引量：194

发文量：94

主要参考文献期刊

《真空科学与技术学报》
文献量：359
《真空与低温》
文献量：187
《物理学报》
文献量：143
《真空科学与技术》
文献量：131
《材料导报》
文献量：90
《稀有金属材料与工程》
文献量：84
《功能材料》
文献量：76
《真空电子技术》
文献量：72
《航天器环境工程》
文献量：70
《表面技术》
文献量：60

主要引证文献期刊

《真空科学与技术学报》
文献量：369
《真空与低温》
文献量：161
《表面技术》
文献量：97
《材料导报》
文献量：76
《热加工工艺》
文献量：59
《真空电子技术》
文献量：56
《金属热处理》
文献量：55
《材料保护》
文献量：51
《中国表面工程》
文献量：46
《稀有金属材料与工程》
文献量：41